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什么是EBARA分子泵?它有那些特點?

        EBARA分子泵是EBARA公司生產(chǎn)的一種高性能真空泵。分子泵的主要組成部分包括轉(zhuǎn)子、定子和抽氣口。其工作原理是,當(dāng)分子泵開始工作時,轉(zhuǎn)子開始高速旋轉(zhuǎn),形成一個高速的氣體流動。氣體進入分子泵后,會與轉(zhuǎn)子葉片碰撞,由于葉片間距非常小,氣體分子之間會發(fā)生多次碰撞。在碰撞過程中,氣體分子會受到葉片的沖擊和擴散,速度會逐漸減小,*終被抽取出來。

        EBARA分子泵具有許多優(yōu)點,如抽氣效率高、噪音低、運行穩(wěn)定等。此外,其結(jié)構(gòu)緊湊、安裝方便,適用于各種真空應(yīng)用場合。

        EBARA分子泵的技術(shù)參數(shù)包括流量、揚程、*大壓力、出口尺寸和葉輪尺寸等。具體來說,流量范圍在42m3/min(50Hz)至48m3/min(60Hz),揚程范圍在150m(50Hz)至220m(60Hz),*大壓力為25bar(2.5Mpa),出口尺寸為125-400mm,葉輪尺寸為165-631mm。

        在分子泵中,轉(zhuǎn)子、定子、動片、靜片、外殼、輔助軸承和高頻轉(zhuǎn)動馬達等部件都發(fā)揮著重要的作用。轉(zhuǎn)子部在通電后開始回旋加速,直至達到額定轉(zhuǎn)速。動片是分子泵轉(zhuǎn)子上的葉片,而靜片則是通過靜片固定環(huán)固定在兩層動片之間,不隨動片轉(zhuǎn)動的葉片。外殼是泵的壓力保持圈,而輔助軸承則起到保護磁懸浮軸承和承受突然掉電時保護主軸的作用。高頻轉(zhuǎn)動馬達由環(huán)行線圈通過環(huán)氧樹脂澆注而成,根據(jù)電源提供的頻率驅(qū)動轉(zhuǎn)子加速轉(zhuǎn)動。

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